李世鴻老師研究群

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 H347 半導體特性量測實驗室

李世鴻老師的研究實驗室「半導體特性量測實驗室」 設置於工學大樓 H347 室。本實驗室之中容納一些光學量測儀器、電性量測儀器、低溫量測設備、電腦設備,並作為李老師所指導研究生及專題生的辦公室空間。

除了下面所陳列的儀器設備之外,而李世鴻老師的製程設備包括 PECVD、MACVD、HFCVD、氧化爐管、擴散爐管、RIE、研磨拋光機、超純水機等設備則放置於微電子實驗室【教學實驗室】供作教學及研究共同使用。另外,李世鴻老師還有許多量測儀器包括 HP 4192 阻抗分析儀 、HP 7090A 量測繪圖系統、頻率響應分析儀、Keithley 199 DMM、電源供應器則放置於電性量測實驗室【共用實驗室】作為共用儀器之中,

 

主要設備

儀器設備 數量 備註
Oriel 單頻解析器 (monochromator) 1 組  
HP 6030A 系統電源供應器 2 部 鹵素鎢絲燈泡
Oriel 68810 弧光光源 (arc lamp) 電源供應器及燈具 1 組 水銀弧光光源
Oriel 68840 重氫光源 (deuterium lamp) 電源供應器及燈具 1 部 重氫光源使用
長通光學濾波器 (long pass filter) 1 組  
中性密度光學濾波器 (neutral density filter) 2 組  
Keithley 617 電性儀 (electrometer) 3 部  
Keithley 236 電源量測單元 (source measure unit) 1 部  
Keithley 237 電源量測單元 (source measure unit) 2 部  
Keithley 199 DMM 2 部  
Topward  電源供應器 2 部 實驗室一般用電源供應
EG&G PARC 5210 鎖相放大器 (lock-in amplifier) 1 部 檢測微小交流訊號
HP 3049A 繪圖機 2 部  
個人電腦 4 部  

 

單頻解析器系統 包含鹵素鎢絲燈具、重氫光源、單頻解析器
Oriel 68810 弧光燈泡電源供應器 Oriel 68840 重氫光源電源供應器
各式長通濾波器及中性密度光濾波器 各式光檢測器
 
Keithley 617 電性儀

Keithley 228A 電壓電流源及 EG&G PARC 5210 鎖相放大器

Keithley 236 電源量測單元 Keithley 237 電源量測單元
 
低溫量測系統 (cryostat) 低溫量測系統 (cryostat)